Влияние условий термообработки на свойства пленок Si0[2], полученных из растворов тетраэтоксисилана

Казаченок, Е. А.; Богомазова, Наталья Валентиновна; Жарский, Иван Михайлович

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/28131

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Казаченок, Е. А.	-
dc.contributor.author	Богомазова, Наталья Валентиновна	-
dc.contributor.author	Жарский, Иван Михайлович	-
dc.date.accessioned	2019-02-20T09:23:43Z	-
dc.date.available	2019-02-20T09:23:43Z	-
dc.date.issued	1999	-
dc.identifier.citation	Казаченок, Е. А. Влияние условий термообработки на свойства пленок Si0[2], полученных из растворов тетраэтоксисилана / Е. А. Казаченок, Н. В. Богомазова, И. М. Жарский // Журнал прикладной химии. - 1999. - Т. 72, вып. 10. - С. 1595-1600.	ru
dc.identifier.uri	https://elib.belstu.by/handle/123456789/28131	-
dc.description.abstract	С использованием методов ИК спектроскопии, оптической и растровой электронной микроскопии, а также электрохимических измерений проведены исследования и выявлены некоторые закономерности влияния температуры и продолжительности стадий термообработки на состав и дефектность пленок Si0[2], полученных из растворов на основе тетраэтоксисилана.	ru
dc.subject	пленки SiO[2]	ru
dc.subject	тетраэтоксисилан	ru
dc.subject	пленки диоксида кремния	ru
dc.subject	защитные покрытия	ru
dc.subject	производство жидкокристаллических устройств	ru
dc.subject	термообработка	ru
dc.subject	получение пленок SiO[2]	ru
dc.title	Влияние условий термообработки на свойства пленок Si0[2], полученных из растворов тетраэтоксисилана	ru
dc.type	Article	ru
dc.identifier.udc	546.284:542.8	-
Appears in Collections:	Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Kazachenok_Vliyanie uslovij.pdf		617.3 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record