Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/28131
Title: Влияние условий термообработки на свойства пленок Si0[2], полученных из растворов тетраэтоксисилана
Authors: Казаченок, Е. А.
Богомазова, Наталья Валентиновна
Жарский, Иван Михайлович
Keywords: пленки SiO[2]
тетраэтоксисилан
пленки диоксида кремния
защитные покрытия
производство жидкокристаллических устройств
термообработка
получение пленок SiO[2]
Issue Date: 1999
Citation: Казаченок, Е. А. Влияние условий термообработки на свойства пленок Si0[2], полученных из растворов тетраэтоксисилана / Е. А. Казаченок, Н. В. Богомазова, И. М. Жарский // Журнал прикладной химии. - 1999. - Т. 72, вып. 10. - С. 1595-1600.
Abstract: С использованием методов ИК спектроскопии, оптической и растровой электронной микроскопии, а также электрохимических измерений проведены исследования и выявлены некоторые закономерности влияния температуры и продолжительности стадий термообработки на состав и дефектность пленок Si0[2], полученных из растворов на основе тетраэтоксисилана.
URI: https://elib.belstu.by/handle/123456789/28131
Appears in Collections:Статьи в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kazachenok_Vliyanie uslovij.pdf617.3 kBAdobe PDFView/Open



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.