Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/28131| Title: | Влияние условий термообработки на свойства пленок Si0[2], полученных из растворов тетраэтоксисилана |
| Authors: | Казаченок, Е. А. Богомазова, Наталья Валентиновна Жарский, Иван Михайлович |
| Keywords: | пленки SiO[2] тетраэтоксисилан пленки диоксида кремния защитные покрытия производство жидкокристаллических устройств термообработка получение пленок SiO[2] |
| Issue Date: | 1999 |
| Citation: | Казаченок, Е. А. Влияние условий термообработки на свойства пленок Si0[2], полученных из растворов тетраэтоксисилана / Е. А. Казаченок, Н. В. Богомазова, И. М. Жарский // Журнал прикладной химии. - 1999. - Т. 72, вып. 10. - С. 1595-1600. |
| Abstract: | С использованием методов ИК спектроскопии, оптической и растровой электронной микроскопии, а также электрохимических измерений проведены исследования и выявлены некоторые закономерности влияния температуры и продолжительности стадий термообработки на состав и дефектность пленок Si0[2], полученных из растворов на основе тетраэтоксисилана. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/28131 |
| Appears in Collections: | Статьи в зарубежных изданиях |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kazachenok_Vliyanie uslovij.pdf | 617.3 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.