Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/28608| Title: | Низкоразмерные нанокомпозитные структуры в приборах электроники |
| Authors: | Дяденчук, А. Ф. Кидалов, В. В. |
| Keywords: | нанотрубки оксидные нанотрубки полупроводниковые гетероструктуры формирование нанотрубок радикало-лучевая геттерирующая эпитаксия пористые подложки выращивание оксидных нанотрубок |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Дяденчук, А. Ф. Низкоразмерные нанокомпозитные структуры в приборах электроники / А. Ф. Дяденчук, В. В. Кидалов // Инновационные материалы и технологии : материалы докладов Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 9-11 января 2019 г. – Минск : БГТУ, 2019. - С. 263-266. |
| Abstract: | В данной работе рассмотрен процесс формирования нанотрубок ZnO, In[2]O[3] и квантовых точек GaN на пористых подложках ZnSe, InP и GaAs соответственно. Для изготовления оксидных нанотрубок использован метод радикало-лучевой геттерирующей эпитаксии, который заключается в отжиге пористых полупроводниковых подложек в потоке атомарного кислорода либо атомарного азота. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/28608 |
| Appears in Collections: | Материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Dyadenchuk_Nizkorazmernye.pdf | 143.64 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.