Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/28982
Title: Неорганические стекловидные диэлектрики для защиты элементов микросхем
Authors: Бобкова, Нинель Мироновна
Егорова, И. М.
Скрипко, Г. Г.
Keywords: толстопленочные технологии
гибридные интегральные схемы
стекловидные диэлектрики
неорганические стекловидные диэлектрики
стекла
диэлектрические покрытия
защита элементов микросхем
Issue Date: 1988
Citation: Бобкова, Н. М. Неорганические стекловидные диэлектрики для защиты элементов микросхем / Н. М. Бобкова, И. М. Егорова, Г. Г. Скрипко // Приборостроение. - 1988. - Вып. 10. - С. 41-43.
Abstract: В настоящей работе проводились исследования стекол на основе системы СаО—ВаО—Аl[2]0[3] —В20[3] —Si0[2] с целью получения диэлектрических покрытий по металлу для защиты элементов микросхем. Было установлено, что синтезированные стекла могут служить основой для получения толстопленочных диэлектрических покрытий металлов.
URI: https://elib.belstu.by/handle/123456789/28982
Appears in Collections:Публикации в республиканских изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Bobkova_Neorganicheskie steklovidnye.pdf138.88 kBAdobe PDFView/Open



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.