Водород в кремнии: формирование конических структур на поверхности пластин

Францкевич, Н. В.; Шеденков, С. И.; Францкевич, А. В.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/3221

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Францкевич, Н. В.	ru
dc.contributor.author	Шеденков, С. И.	ru
dc.contributor.author	Францкевич, А. В.	ru
dc.date.accessioned	2017-02-21T11:29:07Z	-
dc.date.available	2017-02-21T11:29:07Z	-
dc.date.issued	2012	-
dc.identifier.citation	Францкевич, Н. В. Водород в кремнии: формирование конических структур на поверхности пластин / Н. В. Францкевич, С. И. Шеденков, А. В. Францкевич // Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2012. - С. 95-97	-
dc.identifier.uri	https://elib.belstu.by/handle/123456789/3221	-
dc.description.abstract	На поверхности пластин CZ-Si р-типа формировались конусообразные структуры в результате имплантации гелия, отжига и обработки в DC-плазме водорода. Структуры изучались методом комбинационного рассеяния и в сканирующем электронном микроскопе. Результаты исследований свидетельствуют о том, что структуры образованы кристаллическим кремнием. Отсутствие напряжений в исследуемых структурах говорит о согласованности решеток.	ru
dc.format.mimetype	application/pdf	en
dc.language.iso	ru	en
dc.publisher	БГТУ	ru
dc.subject	кремниевые пластины	ru
dc.subject	конусообразные структуры	ru
dc.subject	кристаллический кремний	ru
dc.subject	кремний кристаллический	ru
dc.title	Водород в кремнии: формирование конических структур на поверхности пластин	ru
dc.type	Article	en
dc.identifier.udc	621.315.592	-
Appears in Collections:	Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2012

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
029franckevich-n.-v.-shedenkov-s.-i.-franckevich-a.-v.-vodorod-v-kremnii--formirova-.pdf		589.8 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record