Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/3221Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Францкевич, Н. В. | ru |
| dc.contributor.author | Шеденков, С. И. | ru |
| dc.contributor.author | Францкевич, А. В. | ru |
| dc.date.accessioned | 2017-02-21T11:29:07Z | - |
| dc.date.available | 2017-02-21T11:29:07Z | - |
| dc.date.issued | 2012 | - |
| dc.identifier.citation | Францкевич, Н. В. Водород в кремнии: формирование конических структур на поверхности пластин / Н. В. Францкевич, С. И. Шеденков, А. В. Францкевич // Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2012. - С. 95-97 | - |
| dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/3221 | - |
| dc.description.abstract | На поверхности пластин CZ-Si р-типа формировались конусообразные структуры в результате имплантации гелия, отжига и обработки в DC-плазме водорода. Структуры изучались методом комбинационного рассеяния и в сканирующем электронном микроскопе. Результаты исследований свидетельствуют о том, что структуры образованы кристаллическим кремнием. Отсутствие напряжений в исследуемых структурах говорит о согласованности решеток. | ru |
| dc.format.mimetype | application/pdf | en |
| dc.language.iso | ru | en |
| dc.publisher | БГТУ | ru |
| dc.subject | кремниевые пластины | ru |
| dc.subject | конусообразные структуры | ru |
| dc.subject | кристаллический кремний | ru |
| dc.subject | кремний кристаллический | ru |
| dc.title | Водород в кремнии: формирование конических структур на поверхности пластин | ru |
| dc.type | Article | en |
| dc.identifier.udc | 621.315.592 | - |
| Располагается в коллекциях: | Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2012 | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 029franckevich-n.-v.-shedenkov-s.-i.-franckevich-a.-v.-vodorod-v-kremnii--formirova-.pdf | 589.8 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.