Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/3221| Название: | Водород в кремнии: формирование конических структур на поверхности пластин |
| Авторы: | Францкевич, Н. В. Шеденков, С. И. Францкевич, А. В. |
| Ключевые слова: | кремниевые пластины конусообразные структуры кристаллический кремний кремний кристаллический |
| Дата публикации: | 2012 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Францкевич, Н. В. Водород в кремнии: формирование конических структур на поверхности пластин / Н. В. Францкевич, С. И. Шеденков, А. В. Францкевич // Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2012. - С. 95-97 |
| Краткий осмотр (реферат): | На поверхности пластин CZ-Si р-типа формировались конусообразные структуры в результате имплантации гелия, отжига и обработки в DC-плазме водорода. Структуры изучались методом комбинационного рассеяния и в сканирующем электронном микроскопе. Результаты исследований свидетельствуют о том, что структуры образованы кристаллическим кремнием. Отсутствие напряжений в исследуемых структурах говорит о согласованности решеток. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/3221 |
| Располагается в коллекциях: | Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2012 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 029franckevich-n.-v.-shedenkov-s.-i.-franckevich-a.-v.-vodorod-v-kremnii--formirova-.pdf | 589.8 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.