Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/3221| Title: | Водород в кремнии: формирование конических структур на поверхности пластин |
| Authors: | Францкевич, Н. В. Шеденков, С. И. Францкевич, А. В. |
| Keywords: | кремниевые пластины конусообразные структуры кристаллический кремний кремний кристаллический |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Францкевич, Н. В. Водород в кремнии: формирование конических структур на поверхности пластин / Н. В. Францкевич, С. И. Шеденков, А. В. Францкевич // Труды БГТУ. - Минск : БГТУ, 2012. - № 6 (153) 2012 год. - С. 95-97 |
| Abstract: | На поверхности пластин CZ-Si р-типа формировались конусообразные структуры в результате имплантации гелия, отжига и обработки в DC-плазме водорода. Структуры изучались методом комбинационного рассеяния и в сканирующем электронном микроскопе. Результаты исследований свидетельствуют о том, что структуры образованы кристаллическим кремнием. Отсутствие напряжений в исследуемых структурах говорит о согласованности решеток. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/3221 |
| Appears in Collections: | Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2012 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 029franckevich-n.-v.-shedenkov-s.-i.-franckevich-a.-v.-vodorod-v-kremnii--formirova-.pdf | 589.8 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.