1. Электронная библиотека БГТУ
  2. Статьи ученых БГТУ
  3. Статьи в республиканских изданиях
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/32353
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorГалковский, Тимур Вячеславович-
dc.contributor.authorБогомазова, Наталья Валентиновна-
dc.contributor.authorЖарский, Иван Михайлович-
dc.date.accessioned2020-01-23T14:22:27Z-
dc.date.available2020-01-23T14:22:27Z-
dc.date.issued2019-
dc.identifier.citationГалковский, Т. В. Получение тонких полупроводниковых пленок оксосульфида олова(II) методом SILD / Т. В. Галковский, Н. В. Богомазова, И. М. Жарский // Свиридовские чтения : сборник статей. - Минск : Изд. центр БГУ, 2019. - Вып. 15. – С. 54-64.ru
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/32353-
dc.description.abstractЦель исследования – формирование нано- и микроструктурных слоев полупроводниковых сульфидов или оксосульфидов олова(II) методом SILD на планарных прозрачных подложках, а также изучение влияния количества циклов обработки на микроструктуру, состав и электрические свойства пленок.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdfru
dc.language.isoruru
dc.subjectпленки полупроводниковыеru
dc.subjectоксосульфид оловаru
dc.subjectполупроводниковые пленкиru
dc.subjectSILDru
dc.subjectпленочные структурыru
dc.subjectскорость осажденияru
dc.subjectэлементный составru
dc.subjectэлектросопротивлениеru
dc.titleПолучение тонких полупроводниковых пленок оксосульфида олова(II) методом SILDru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udc541.124:542.952.6:547.313-
Appears in Collections:Жарский Иван Михайлович
Статьи в республиканских изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Galkovskij_Poluchenie_tonkih.pdf673.05 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.