Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/32353| Название: | Получение тонких полупроводниковых пленок оксосульфида олова(II) методом SILD |
| Авторы: | Галковский, Тимур Вячеславович Богомазова, Наталья Валентиновна Жарский, Иван Михайлович |
| Ключевые слова: | пленки полупроводниковые оксосульфид олова полупроводниковые пленки SILD пленочные структуры скорость осаждения элементный состав электросопротивление |
| Дата публикации: | 2019 |
| Библиографическое описание: | Галковский, Т. В. Получение тонких полупроводниковых пленок оксосульфида олова(II) методом SILD / Т. В. Галковский, Н. В. Богомазова, И. М. Жарский // Свиридовские чтения : сборник статей. - Минск : Изд. центр БГУ, 2019. - Вып. 15. – С. 54-64. |
| Краткий осмотр (реферат): | Цель исследования – формирование нано- и микроструктурных слоев полупроводниковых сульфидов или оксосульфидов олова(II) методом SILD на планарных прозрачных подложках, а также изучение влияния количества циклов обработки на микроструктуру, состав и электрические свойства пленок. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/32353 |
| Располагается в коллекциях: | Публикации в республиканских изданиях |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Galkovskij_Poluchenie_tonkih.pdf | 673.05 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.