Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/32353| Title: | Получение тонких полупроводниковых пленок оксосульфида олова(II) методом SILD |
| Authors: | Галковский, Тимур Вячеславович Богомазова, Наталья Валентиновна Жарский, Иван Михайлович |
| Keywords: | пленки полупроводниковые оксосульфид олова полупроводниковые пленки SILD пленочные структуры скорость осаждения элементный состав электросопротивление |
| Issue Date: | 2019 |
| Citation: | Галковский, Т. В. Получение тонких полупроводниковых пленок оксосульфида олова(II) методом SILD / Т. В. Галковский, Н. В. Богомазова, И. М. Жарский // Свиридовские чтения : сборник статей. - Минск : Изд. центр БГУ, 2019. - Вып. 15. – С. 54-64. |
| Abstract: | Цель исследования – формирование нано- и микроструктурных слоев полупроводниковых сульфидов или оксосульфидов олова(II) методом SILD на планарных прозрачных подложках, а также изучение влияния количества циклов обработки на микроструктуру, состав и электрические свойства пленок. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/32353 |
| Appears in Collections: | Публикации в республиканских изданиях |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Galkovskij_Poluchenie_tonkih.pdf | 673.05 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.