Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/32699| Title: | Сенсорные слои органических и металлооксидных полупроводников, полученные и модифицированные вакуумными методами |
| Authors: | Почтенный, Артем Евгеньевич Шишкин, Николай Яковлевич Долгий, Валерий Казимирович Зарапин, Виталий Георгиевич Ильюшонок, Ирина Петровна Лугин, Валерий Геннадьевич Мисевич, Алексей Васильевич |
| Keywords: | химическая сенсорика сенсорные слои полупроводники сенсорные материалы металлфталоцианины фталоцианин меди вакуумные методы модифицирование сенсорных слоев |
| Issue Date: | 1996 |
| Citation: | Сенсорные слои органических и металлооксидных полупроводников, полученные и модифицированные вакуумными методами / А. Е. Почтенный [и др.] // Вестник БГУ. Серия 2, Химия, биология, география. - 1996. - № 1. - С. 18 – 23. |
| Abstract: | Предложенные методы создания и модифицирования сенсорных слоев, которые позволяют существенно улучшить такие характеристики адсорбционно-резистивных твердотельных химических сенсоров, как чувствительность, селективность, стабильность и долговечность. Все используемые методы формирования и модифицирования сенсоров относятся к методам вакуумных технологий, могут быть осуществлены на одной установке в едином вакуумном цикле, полностью совместимы с технологией микроэлектронных производств, имеют перспективы развития в области микросистемных технологий и являются экологически чистыми. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/32699 |
| Appears in Collections: | Статьи в республиканских изданиях |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pochtennyj_Sensornye_sloi.pdf | 389.44 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.