Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/43471
Title: | Формирование поверхностного слоя методом вакуумного осаждения кобальта и молибдена на графит |
Authors: | Бобрович, Олег Георгиевич |
Keywords: | графит Со-покрытие Мо-покрытие ионно-ассистируемое нанесение покрытия |
Issue Date: | 2021 |
Publisher: | БГТУ |
Citation: | Бобрович О. Г. Формирование поверхностного слоя методом вакуумного осаждения кобальта и молибдена на графит // Труды БГТУ. Сер. 3, Физико-математические науки и информатика. 2021. № 2 (248). С. 47–52. |
Abstract: | В статье рассматривается элементный состав покрытия, распределение элементов в покрытии и их химические связи при формировании структуры покрытие − подложка в системах Мо − графит и Со − графит, создаваемых нанесением многокомпонентного, металлического (Мо, Со) покрытия в условиях ассистирования ионами Мо+ и Со+ соответственно. Анализ выполнен с применением методов резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. В покрытии, кроме осаждаемого металла, содержатся высокие концентрации кис- лорода и углерода, а также кремний в результате встречной диффузии из подложки в покрытие. Результаты анализа спектров рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии показали, что в си- стеме Мо − графит молибден находится как в виде металлического Мо, так и виде оксида МоО2. Толщина покрытия увеличивается с уменьшением ускоряющего напряжения для ассистирующих ионов Со+, Мо+ от 20 до 7 кВ и зависит как от отношения плотности потока ионов Ji к плотности потока нанесенных атомов Jа (Ji / Jа), так и типа осаждаемого на графит металла. Установлено, что оптимальное отношение Ji / Jа, при котором достигается наибольшая толщина Со-покрытий, составляет 0,01, а для Мо-покрытия – 0,18. Рассчитанные скорости осаждения покрытий составляли от 0,3 до 0,9 нм/мин для системы Со − графит и от 0,2 до 0,4 нм /мин для систем Мо − графит |
URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/43471 |
Appears in Collections: | выпуск журнала постатейно |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
8. Бобрович.pdf | 663.21 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.