Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44913
Title: Изучение химического состава и электронных состояний элементов на поверхности и в объеме тонких пленок In2О3
Authors: Лугин, Валерий Геннадьевич
Жарский, Иван Михайлович
Keywords: оже-электронной спектроскопия
рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
тонкие пленки
химический состав
электронные состояния
термическое окисление
оксид индия
оксидные пленки
Issue Date: 2001
Publisher: БГТУ
Citation: Лугин, В. Г. Изучение химического состава и электронных состояний элементов на поверхности и в объеме тонких пленок In2О3 / В. Г. Лугин, И. М. Жарский // Труды БГТУ. №3. Химия и технология неорганических веществ, 2001. - С. 46-53.
Abstract: Методами оже-электронной спектроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии изучены тонкие пленки In[2]O[3], полученные методом термического окисления индия. Изучение химического состава и электронных состояний элементов в пленках оксида индия позволило получить важную информацию, необходимую для описания свойств тонких пленок и прогнозирования их поведения при дальнейшем функционировании.
URI: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44913
Appears in Collections:Труды БГТУ. №3. Химия и технология неорганических веществ, 2001

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Лугин. Жарский_Изучение.pdf797.89 kBAdobe PDFView/Open



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.