Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/45160| Title: | Осаждение и исследование тонких пленок CVD-алмаза, легированных бором |
| Authors: | Мартынова, Т. В. Полушин, Н. И. Лаптев, А. И. Маслов, А. Л. Спицын, Б. В. Алексенко, А. Е. Аверин, А. А. Архипушкин, И. А. |
| Keywords: | монокристаллические алмазы поликристаллические алмазы легированные бором алмазы борно-этиловые эфиры алмазные пленки метод комбинационного рассеяния света рамановская спектроскопия CVD-алмазы синтетические алмазы |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Осаждение и исследование тонких пленок CVD-алмаза, легированных бором / Т. В. Мартынова [и др.] // Инновационные материалы и технологии - 2021 : материалы Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 19-21 января 2021 г. - Минск : БГТУ, 2021. – С. 382-384. |
| Abstract: | В работе исследовались свойства пленок легированного бором алмаза. Для осаждения использовалась плазма, состоящая из метана и водорода. В данной работе исследование образцов проводилось методом комбинационного рассеяния света (рамановской спектроскопии) на приборе Renishaw inVia Reflex (длина волны 405 нм). |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/45160 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Мартынова_Осаждение.pdf | 141.45 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.