Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/47988Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Тульев, Валентин Валентинович | - |
| dc.date.accessioned | 2022-05-11T06:14:02Z | - |
| dc.date.available | 2022-05-11T06:14:02Z | - |
| dc.date.issued | 2022 | - |
| dc.identifier.citation | Тульев, В. В. Состав приповерхностных слоев структур Ti/Si и Cо/Si, полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме / В. В. Тульев // Информационные технологии : материалы 86-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов, Минск, 31 января - 12 февраля 2022 г. - Минск : БГТУ, 2022. – С. 208-212. | ru |
| dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/47988 | - |
| dc.description.abstract | В работе рассмотрен состав приповерхностных слоев структур Ti/Si и Cо/Si, полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме. | ru |
| dc.format.mimetype | application/pdf | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БГТУ | ru |
| dc.subject | ионно-ассистируемое осаждение | ru |
| dc.subject | резерфордовское обратное рассеяние | ru |
| dc.subject | ионы гелия | ru |
| dc.subject | метод ядерных реакций | ru |
| dc.subject | осаждение покрытий | ru |
| dc.subject | ксеноновый маркер | ru |
| dc.title | Состав приповерхностных слоев структур Ti/Si и Cо/Si, полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udc | 539.1.06:539.23.234 | - |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Тульев_Состав.pdf | 370.91 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.