Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/47988| Название: | Состав приповерхностных слоев структур Ti/Si и Cо/Si, полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме |
| Авторы: | Тульев, Валентин Валентинович |
| Ключевые слова: | ионно-ассистируемое осаждение резерфордовское обратное рассеяние ионы гелия метод ядерных реакций осаждение покрытий ксеноновый маркер |
| Дата публикации: | 2022 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Тульев, В. В. Состав приповерхностных слоев структур Ti/Si и Cо/Si, полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме / В. В. Тульев // Информационные технологии : материалы 86-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов, Минск, 31 января - 12 февраля 2022 г. - Минск : БГТУ, 2022. – С. 208-212. |
| Краткий осмотр (реферат): | В работе рассмотрен состав приповерхностных слоев структур Ti/Si и Cо/Si, полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/47988 |
| Располагается в коллекциях: | материалы конференции постатейно |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Тульев_Состав.pdf | 370.91 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.