Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/47988| Title: | Состав приповерхностных слоев структур Ti/Si и Cо/Si, полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме |
| Authors: | Тульев, Валентин Валентинович |
| Keywords: | ионно-ассистируемое осаждение резерфордовское обратное рассеяние ионы гелия метод ядерных реакций осаждение покрытий ксеноновый маркер |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Тульев, В. В. Состав приповерхностных слоев структур Ti/Si и Cо/Si, полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме / В. В. Тульев // Информационные технологии : материалы 86-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов, Минск, 31 января - 12 февраля 2022 г. - Минск : БГТУ, 2022. – С. 208-212. |
| Abstract: | В работе рассмотрен состав приповерхностных слоев структур Ti/Si и Cо/Si, полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/47988 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Тульев_Состав.pdf | 370.91 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.