Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/48915Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Нестерчик, Р. И. | - |
| dc.contributor.author | То, К. Т. | - |
| dc.contributor.author | Голосов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Бурдовицин, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Завадский, С. М. | - |
| dc.contributor.author | Мельников, С. Н. | - |
| dc.date.accessioned | 2022-06-17T13:24:21Z | - |
| dc.date.available | 2022-06-17T13:24:21Z | - |
| dc.date.issued | 2022 | - |
| dc.identifier.citation | Формирование пленок нитрида титана-циркония реактивным магнетронным распылением мозаичной мишени / Р. И. Нестерчик [и др.] // Инновационные материалы и технологии - 2022 : материалы Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 23-24 марта 2022 г. - Минск : БГТУ, 2022. – С. 390-393. | ru |
| dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/48915 | - |
| dc.description.abstract | В работе исследованы вопросы формирования пленок нитрида титана-циркония реактивным магнетронным распылением мозаичной мишени. | ru |
| dc.format.mimetype | application/pdf | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БГТУ | ru |
| dc.subject | нитридные покрытия | ru |
| dc.subject | пленки нитрида титана-циркония | ru |
| dc.subject | нитрид титана-циркония | ru |
| dc.subject | реактивное распыление | ru |
| dc.subject | магнетронное распыление | ru |
| dc.subject | мозаичная мишень | ru |
| dc.subject | легирующие элементы | ru |
| dc.title | Формирование пленок нитрида титана-циркония реактивным магнетронным распылением мозаичной мишени | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udc | 533.9.924+621.793.18 | - |
| Располагается в коллекциях: | материалы конференции постатейно | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Нестерчик_Формирование.pdf | 318.41 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.