Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/48915
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorНестерчик, Р. И.-
dc.contributor.authorТо, К. Т.-
dc.contributor.authorГолосов, Д. А.-
dc.contributor.authorБурдовицин, В. А.-
dc.contributor.authorЗавадский, С. М.-
dc.contributor.authorМельников, С. Н.-
dc.date.accessioned2022-06-17T13:24:21Z-
dc.date.available2022-06-17T13:24:21Z-
dc.date.issued2022-
dc.identifier.citationФормирование пленок нитрида титана-циркония реактивным магнетронным распылением мозаичной мишени / Р. И. Нестерчик [и др.] // Инновационные материалы и технологии - 2022 : материалы Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 23-24 марта 2022 г. - Минск : БГТУ, 2022. – С. 390-393.ru
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/48915-
dc.description.abstractВ работе исследованы вопросы формирования пленок нитрида титана-циркония реактивным магнетронным распылением мозаичной мишени.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdfru
dc.language.isoruru
dc.publisherБГТУru
dc.subjectнитридные покрытияru
dc.subjectпленки нитрида титана-цирконияru
dc.subjectнитрид титана-цирконияru
dc.subjectреактивное распылениеru
dc.subjectмагнетронное распылениеru
dc.subjectмозаичная мишеньru
dc.subjectлегирующие элементыru
dc.titleФормирование пленок нитрида титана-циркония реактивным магнетронным распылением мозаичной мишениru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udc533.9.924+621.793.18-
Appears in Collections:материалы конференции постатейно

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Нестерчик_Формирование.pdf318.41 kBAdobe PDFView/Open



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.