Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/48915| Название: | Формирование пленок нитрида титана-циркония реактивным магнетронным распылением мозаичной мишени |
| Авторы: | Нестерчик, Р. И. То, К. Т. Голосов, Д. А. Бурдовицин, В. А. Завадский, С. М. Мельников, С. Н. |
| Ключевые слова: | нитридные покрытия пленки нитрида титана-циркония нитрид титана-циркония реактивное распыление магнетронное распыление мозаичная мишень легирующие элементы |
| Дата публикации: | 2022 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Формирование пленок нитрида титана-циркония реактивным магнетронным распылением мозаичной мишени / Р. И. Нестерчик [и др.] // Инновационные материалы и технологии - 2022 : материалы Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 23-24 марта 2022 г. - Минск : БГТУ, 2022. – С. 390-393. |
| Краткий осмотр (реферат): | В работе исследованы вопросы формирования пленок нитрида титана-циркония реактивным магнетронным распылением мозаичной мишени. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/48915 |
| Располагается в коллекциях: | материалы конференции постатейно |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Нестерчик_Формирование.pdf | 318.41 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.