Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/48915| Title: | Формирование пленок нитрида титана-циркония реактивным магнетронным распылением мозаичной мишени |
| Authors: | Нестерчик, Р. И. То, К. Т. Голосов, Д. А. Бурдовицин, В. А. Завадский, С. М. Мельников, С. Н. |
| Keywords: | нитридные покрытия пленки нитрида титана-циркония нитрид титана-циркония реактивное распыление магнетронное распыление мозаичная мишень легирующие элементы |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Формирование пленок нитрида титана-циркония реактивным магнетронным распылением мозаичной мишени / Р. И. Нестерчик [и др.] // Инновационные материалы и технологии - 2022 : материалы Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 23-24 марта 2022 г. - Минск : БГТУ, 2022. – С. 390-393. |
| Abstract: | В работе исследованы вопросы формирования пленок нитрида титана-циркония реактивным магнетронным распылением мозаичной мишени. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/48915 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Нестерчик_Формирование.pdf | 318.41 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.