Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/49564| Title: | Исследование газочувствительных слоев In2O3-SnO2 для полупроводниковых сенсоров |
| Authors: | Реутская, О. Г. Денисюк, С. В. Куданович, О. Н. Мухуров, Н. И. Лугин, Валерий Геннадьевич Татарын, И. А. |
| Keywords: | полупроводниковые сенсоры золь-гель метод анодный оксид алюминия оксид индия оксид олова газочувствительный слой |
| Issue Date: | 2019 |
| Citation: | Исследование газочувствительных слоев In2O3-SnO2 для полупроводниковых сенсоров / О. Г. Реутская [и др.] // Приборостроение-2019 : материалы 12-й междунар. научно-технической конф.- Минск : БНТУ, 2019. - С. 373-376 |
| Abstract: | В работе представлены результаты исследований морфологии тонких пленок на основе In2O3-SnO2, сформированных золь-гель методом на подложках из анодного оксида алюминия с использованием двух различных методик нанесения и термической обработки. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/49564 |
| Appears in Collections: | Статьи в республиканских изданиях |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Реутская.pdf | 324.03 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.