Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/49869
Title: Электрохимическое осаждение легированных марганцем кремний-углеродных пленок для импедансометрических датчиков
Authors: Михайлова, Т. С.
Мясоедова, Т. Н.
Пташник, В. В.
Бут, А. А.
Keywords: кремний-углеродные пленки
импедансометрические датчики
электрохимический импеданс датчиков
электрохимическое осаждение
нанокристаллические пленки
легирование пленок
Issue Date: 2022
Publisher: БГТУ
Citation: Электрохимическое осаждение легированных марганцем кремний-углеродных пленок для импедансометрических датчиков / Т. С. Михайлова [и др.] // Инновационные материалы и технологии - 2022 : материалы Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 23-24 марта 2022 г. - Минск : БГТУ, 2022. – С. 19-22.
Abstract: В статье рассмотрено электрохимическое осаждение легированных марганцем кремний-углеродных пленок для импедансометрических датчиков.
URI: https://elib.belstu.by/handle/123456789/49869
Appears in Collections:материалы конференции постатейно

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Михайлова_Электрохимическое.pdf231.63 kBAdobe PDFView/Open



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.