Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/50805
Название: | Состав Ti/Si- и Co/Si-структур, сформированных ионно-ассистируемым осаждением |
Авторы: | Тульев, Валентин Валентинович |
Ключевые слова: | ионно-ассистируемое осаждение кремний кобальт резерфордовское обратное рассеяние титан водород метод резонансных ядерных реакций |
Дата публикации: | 2022 |
Издательство: | БГТУ |
Библиографическое описание: | Тульев В. В. Состав Ti/Si- и Co/Si-структур, сформированных ионно-ассистируемым осаждением // Труды БГТУ. Сер. 3, Физико-математические науки и информатика. 2022. № 2 (260). С. 60–64. |
Краткий осмотр (реферат): | В работе обсуждаются экспериментальные результаты по изучению распределения элементов в приповерхностных слоях Ti/Si- и Со/Si-структур, сформированных методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Этот метод заключается в осаждении покрытия на подложку, в процессе которого поверхность формируемой структуры облучается пучком ускоренных ионов. Время осаждения покрытий составляло 2 ч при ускоряющем напряжении U = 7 кВ и плотности ионного тока ∼4−5 мкА/см2. В рабочей камере в процессе осаждения покрытий поддерживался вакуум при давлении ~10−2 Па. Средняя скорость нанесения покрытия находилась в пределах 0,2−0,4 нм/мин. Отношение Ji / Jа плотности потока Ji ассистирующих ионов к плотности потока Jа нейтральных атомов составляло 0,1−0,4, что соответствует условию роста покрытия на подложке. Состав и распределение элементов по глубине в сформированных покрытиях изучались методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием RUMP и методом резонансных ядерных реакций. Установлено, что при ионно-ассистируемом осаждении на подложки из кремния покрытий на основе хрома или титана формируются поверхностные структуры толщиной ∼100‒150 нм. В состав покрытия входят: атомы осаждаемого металла, атомы из подложки (Si), атомы технологических примесей кислорода, углерода и водорода. Сформированные покрытия содержат ∼15‒20 ат. % водорода в зависимости от параметров осаждения покрытий. Источником атомов технологических примесей в покрытии является летучая фракция углеводородов вакуумного масла диффузионного паромасляного насоса. Концентрация атомов водорода в сформированных структурах уменьшается в ∼1,5‒2 раза при повторных сканированиях образцов пучком анализирующих ионов N+ в экспериментах с применением резонансной ядерной реакции, что связано с дегазацией атомов водорода и его соединений, которые химически слабо связаны с атомами покрытия |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/50805 |
Располагается в коллекциях: | выпуск журнала постатейно |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
11. Тульев.pdf | 343.19 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.