Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/56112Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Леньшин, А. С. | - |
| dc.contributor.author | Пешков, Я. А. | - |
| dc.contributor.author | Черноусова, О. В. | - |
| dc.contributor.author | Канныкин, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Гречкина, М. В. | - |
| dc.contributor.author | Агапов, Б. Л. | - |
| dc.date.accessioned | 2023-04-14T10:41:21Z | - |
| dc.date.available | 2023-04-14T10:41:21Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Влияние режимов травления на морфологию поверхности многослойного пористого кремния / А. С. Леньшин [и др.] // Инновационные материалы и технологии - 2023 : сборник заочных докладов Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 21-23 марта 2023 г. - Минск : БГТУ, 2023. - С. 171-172. | ru |
| dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/56112 | - |
| dc.description.abstract | В данной работе представлено влияние технологических режимов травления на морфологию поверхности многослойного пористого кремния. | ru |
| dc.format.mimetype | application/pdf | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БГТУ | ru |
| dc.subject | пористый кремний | ru |
| dc.subject | эпитаксиальные тонкие пленки | ru |
| dc.subject | пористые подложки | ru |
| dc.subject | многослойный пористый кремний | ru |
| dc.subject | монокристаллический кремний | ru |
| dc.subject | режимы травления | ru |
| dc.title | Влияние режимов травления на морфологию поверхности многослойного пористого кремния | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udc | 538.9 | - |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Леньшин_Влияние.pdf | 188.5 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.