Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/56112| Название: | Влияние режимов травления на морфологию поверхности многослойного пористого кремния |
| Авторы: | Леньшин, А. С. Пешков, Я. А. Черноусова, О. В. Канныкин, С. В. Гречкина, М. В. Агапов, Б. Л. |
| Ключевые слова: | пористый кремний эпитаксиальные тонкие пленки пористые подложки многослойный пористый кремний монокристаллический кремний режимы травления |
| Дата публикации: | 2023 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Влияние режимов травления на морфологию поверхности многослойного пористого кремния / А. С. Леньшин [и др.] // Инновационные материалы и технологии - 2023 : сборник заочных докладов Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 21-23 марта 2023 г. - Минск : БГТУ, 2023. - С. 171-172. |
| Краткий осмотр (реферат): | В данной работе представлено влияние технологических режимов травления на морфологию поверхности многослойного пористого кремния. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/56112 |
| Располагается в коллекциях: | материалы конференции постатейно |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Леньшин_Влияние.pdf | 188.5 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.