Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/56112| Title: | Влияние режимов травления на морфологию поверхности многослойного пористого кремния |
| Authors: | Леньшин, А. С. Пешков, Я. А. Черноусова, О. В. Канныкин, С. В. Гречкина, М. В. Агапов, Б. Л. |
| Keywords: | пористый кремний эпитаксиальные тонкие пленки пористые подложки многослойный пористый кремний монокристаллический кремний режимы травления |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Влияние режимов травления на морфологию поверхности многослойного пористого кремния / А. С. Леньшин [и др.] // Инновационные материалы и технологии - 2023 : сборник заочных докладов Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 21-23 марта 2023 г. - Минск : БГТУ, 2023. - С. 171-172. |
| Abstract: | В данной работе представлено влияние технологических режимов травления на морфологию поверхности многослойного пористого кремния. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/56112 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Леньшин_Влияние.pdf | 188.5 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.