Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/59000| Title: | Измерительные схемы пленочных сенсоров |
| Authors: | Карпович, Дмитрий Семенович Анкуда, Максим Анатольевич Олиферович, Надежда Михайловна |
| Keywords: | пленочные сенсоры газоанализаторы измерение сопротивления полупроводниковые газоанализаторы измерительные схемы |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Карпович, Д. С. Измерительные схемы пленочных сенсоров / Д. С. Карпович, М. А. Анкуда // Химическая технология и техника : материалы 87-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов, Минск, 31 января - 17 февраля 2023 г. - Минск : БГТУ, 2023. – С. 273-275. |
| Abstract: | Работа пленочного сенсора газоанализатора основана на свойствах поглощения газа поверхностью нагретого оксида металла. Простейший чувствительный элемент пленочного сенсора выполнен в виде пленки полупроводника (чаще всего металлоксидного) с двумя контактными площадками и двумя металлическими электродами, находящимися на диэлектрической подложке. При необходимости на последней изготавливается и тонкопленочный нагреватель |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/59000 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Карпович_Измерительные.pdf | 230.88 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.