Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/61835| Title: | Некоторые вопросы обработки полупроводниковых материалов |
| Authors: | Калиниченко, Александр Сергеевич Басинюк, В. Л. Тычинская, И. Д. Ковенский, А. Е. Карпович, Т. Л. Карпова, И. В. |
| Keywords: | обработка твердых материалов обработка полупроводниковых материалов обработка сверхтвердых материалов синтетические поликристаллические материалы скоростная лезвийная обработка применение кубического нитрида бора программно-управляемые приводы разделение полупроводниковых пластин |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Некоторые вопросы обработки полупроводниковых материалов / А. С. Калиниченко [и др.] // Технологическая независимость и конкурентоспособность Союзного государства, стран СНГ, ЕАЭС и ШОС : сборник статей VI Международной научно-технической конференции "Минские научные чтения - 2023", Минск, 6-8 декабря 2023 г. : в 3 т. - Минск : БГТУ, 2023. - Т. 2. - С. 191-195. |
| Abstract: | В работе приводятся результаты исследований по применению лезвийной обработки твердых материалов с применением резцов из кубического нитрида бора. Также проведены основы методических подходов к созданию адаптивной системы управления приводными системами прецизионного оборудования для микроэлектроники. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/61835 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Калиниченко_Некоторые.pdf | 487.57 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.