Диагностика плазмы электрического взрыва проводника при напылении пленок

Abstract

В технологических процессах химической промышленности требуется контролировать содержание газо­ вых выбросов. Для такого контроля используются как газоанализаторы, так и приборы индикаторного типа, которые значительно более просты по конструкции и дешевы в производстве. В последние годы появилось много публикаций по применению в качестве индикаторов газовых сред металлооксидных соединений типа Sn02,1п20 3, ТЮ2 и др. Были получены пленки окислов различных металлов при использовании импульсных плазменных уско­рителей (плазмотронов) на основе взрыва проводника. Пленки в зависимости от режима работы плазмотрона меняли свою стехиометрию и характер проводимости, при этом отмечалась отчетливая чувствительность проводимости к кислород- и водородсодержащей газовой среде. Проблема состоит в воспроизводимости свойств таких пленок. Точная диагностика плазменных струй, использующихся для напыления, даст возмож­ность получать воспроизводимые по своим характеристикам пленки. Данная работа посвящена теоретическим аспектам исследований параметров импульсных плазменных потоков, взаимодействующих с напыляемой поверхностью.