Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/64960
Title: Электрофизические свойства тонких пленок оксида индия
Authors: Волобуев, Влас Сергеевич
Долгий, Валерий Казимирович
Почтенный, Артем Евгеньевич
Keywords: оксид индия
тонкие пленки
электрофизические свойства
сенсоры
механизм проводимости
прыжковая проводимость
термодесорбция
Issue Date: 2023
Citation: Волобуев, В. С. Электрофизические свойства тонких пленок оксида индия / В. С. Волобуев, В. К. Долгий, А. Е. Почтенный // Журнал Белорусского государственного университета. Физика. - 2023. - № 2. - С. 66-73
Abstract: Исследованы электрофизические свойства тонких пленок оксида индия. Структура и химический состав пленок изучены методами электронной дифракции, сканирующей электронной микроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Температурная зависимость проводимости пленок измерена при постоянной концентрации кислорода методом циклической термодесорбции. Показано, что взаимодействие адсорбированных частиц с пленкой приводит к образованию различных адсорбционных состояний, влияющих на электрофизические свойства пленки. На основе результатов исследования предложен механизм проводимости.
URI: https://elib.belstu.by/handle/123456789/64960
Appears in Collections:Статьи в республиканских изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Волобуев_Электрофизические.pdf766.22 kBAdobe PDFView/Open



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.