Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/64960| Title: | Электрофизические свойства тонких пленок оксида индия |
| Authors: | Волобуев, Влас Сергеевич Долгий, Валерий Казимирович Почтенный, Артем Евгеньевич |
| Keywords: | оксид индия тонкие пленки электрофизические свойства сенсоры механизм проводимости прыжковая проводимость термодесорбция |
| Issue Date: | 2023 |
| Citation: | Волобуев, В. С. Электрофизические свойства тонких пленок оксида индия / В. С. Волобуев, В. К. Долгий, А. Е. Почтенный // Журнал Белорусского государственного университета. Физика. - 2023. - № 2. - С. 66-73 |
| Abstract: | Исследованы электрофизические свойства тонких пленок оксида индия. Структура и химический состав пленок изучены методами электронной дифракции, сканирующей электронной микроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Температурная зависимость проводимости пленок измерена при постоянной концентрации кислорода методом циклической термодесорбции. Показано, что взаимодействие адсорбированных частиц с пленкой приводит к образованию различных адсорбционных состояний, влияющих на электрофизические свойства пленки. На основе результатов исследования предложен механизм проводимости. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/64960 |
| Appears in Collections: | Статьи в республиканских изданиях |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Волобуев_Электрофизические.pdf | 766.22 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.