Влияние ионной имплантации на электрофизические свойства безметального фталоцианина

Abstract

Методом циклической термодесорбции исследовано влияние ионной имплантации ионов железа на про­водимость тонких пленок безметального фталоцианина. Анализ полученных результатов проведен с исполь­зованием модели прыжковой проводимости по двум энергетическим уровням. Установлено, что при эффек­тивной концентрации имплантированной примеси множителем и энергией активации проводимости подчиняется эмпирическому правилу Майера - Нельделя. Показано, что имплантируемая примесь является дополнительной примесью по отношению к собственным центрам локализации безметального фталоцианина и конкурирующей примесью по отношению к центрам локализации адсорбированного кислорода.