Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/67151| Title: | Модернизация САУ для процесса изготовления фотошаблона |
| Authors: | Балвашинский, Е. И. Бажко, М. Л. |
| Keywords: | системы автоматизированного управления фотошаблоны изготовление фотошаблона автоматизация изготовления фотошаблона |
| Issue Date: | 2024 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Балвашинский, Е. И. Модернизация САУ для процесса изготовления фотошаблона / Е. И. Балвашинский, М. Л. Бажко // 75-я научно-техническая конференция учащихся, студентов и магистрантов : тезисы докладов, 22-27 апреля 2024 г., Минск : в 4 ч. Ч. 2. - Минск : БГТУ, 2024. – С. 161. |
| Abstract: | В установке используется способ нанесения фоторезиста центрифугированием. Установку и снятие шаблонов с патрона центрифуги выполняет оператор. Операции обдува шаблона азотом, дозирование фоторезиста и вращение шаблона с заданной частотой и продолжительностью выполняется автоматически. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/67151 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Балвашинский_Модернизация.pdf | 85.58 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.