1. Электронная библиотека БГТУ
  2. Статьи ученых БГТУ
  3. Статьи в зарубежных изданиях
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/70196
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorВолобуев, Влас Сергеевич-
dc.contributor.authorДолгий, В. К.-
dc.contributor.authorПочтенный, Артем Евгеньевич-
dc.date.accessioned2025-05-21T08:06:06Z-
dc.date.available2025-05-21T08:06:06Z-
dc.date.issued2024-
dc.identifier.citationВолобуев, В. С. Тонкопленочные полупроводниковые газовые сенсоры как перспектива в конструкциях газоанализаторов / В. С. Волобуев, В. К. Долгий, А. Е. Почтенный. - Текст : электронный // Метрологическое обеспечение инновационных технологий : сборник статей VI Международного форума, Санкт-Петербург, 01 марта 2024 года. – Санкт-Петербург : Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения, 2024. - С. 66-67. - Библиогр.: 2 назв. - ил.ru
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/70196-
dc.description.abstractИсследованы тонкие пленки In2O3, толщиной 30 – 80 нм, которые были получены термическим окислением пленок индия, осажденных методом магнетронного напыления постоянного тока. Выбор данного метода обусловлен тем, что пленочная технология методом термического окисления металлического слоя позволяет формировать оксидные слои толщиной от нескольких нанометров до нескольких сотен нанометров и перспективно могут быть использованы в конструкциях газоанализаторов.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdfru
dc.language.isoruru
dc.subjectконцентрация адсорбированного кислородаru
dc.subjectрешетки кислородаru
dc.subjectтонкая пленкаru
dc.subjectпрыжковая проводимостьru
dc.subjectтонкопленочные полупроводниковые газовые сенсорыru
dc.subjectгазовые сенсорыru
dc.subjectгазоанализаторыru
dc.titleТонкопленочные полупроводниковые газовые сенсоры как перспектива в конструкциях газоанализаторовru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udc539.213.2-
Appears in Collections:Статьи в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Волобуев В. С. Тонкопленочные полупроводниковые.pdf642.36 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.