Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/70196| Title: | Тонкопленочные полупроводниковые газовые сенсоры как перспектива в конструкциях газоанализаторов |
| Authors: | Волобуев, Влас Сергеевич Долгий, В. К. Почтенный, Артем Евгеньевич |
| Keywords: | концентрация адсорбированного кислорода решетки кислорода тонкая пленка прыжковая проводимость тонкопленочные полупроводниковые газовые сенсоры газовые сенсоры газоанализаторы |
| Issue Date: | 2024 |
| Citation: | Волобуев, В. С. Тонкопленочные полупроводниковые газовые сенсоры как перспектива в конструкциях газоанализаторов / В. С. Волобуев, В. К. Долгий, А. Е. Почтенный. - Текст : электронный // Метрологическое обеспечение инновационных технологий : сборник статей VI Международного форума, Санкт-Петербург, 01 марта 2024 года. – Санкт-Петербург : Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения, 2024. - С. 66-67. - Библиогр.: 2 назв. - ил. |
| Abstract: | Исследованы тонкие пленки In2O3, толщиной 30 – 80 нм, которые были получены термическим окислением пленок индия, осажденных методом магнетронного напыления постоянного тока. Выбор данного метода обусловлен тем, что пленочная технология методом термического окисления металлического слоя позволяет формировать оксидные слои толщиной от нескольких нанометров до нескольких сотен нанометров и перспективно могут быть использованы в конструкциях газоанализаторов. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/70196 |
| Appears in Collections: | Статьи в зарубежных изданиях |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Волобуев В. С. Тонкопленочные полупроводниковые.pdf | 642.36 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.