1. Электронная библиотека БГТУ
  2. Материалы конференций и семинаров
  3. Международные конференции
  4. Современные электрохимические технологии и оборудование
  5. Современные электрохимические технологии и оборудование : материалы Международной научно-технической конференции, 19-23 мая 2025 г.
  6. материалы конференции постатейно
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://elib.belstu.by/handle/123456789/73591
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorБогомазова, Наталья Валентиновна-
dc.contributor.authorКозлович, А. С.-
dc.date.accessioned2026-01-24T06:43:19Z-
dc.date.available2026-01-24T06:43:19Z-
dc.date.issued2025-
dc.identifier.citationБогомазова, Н. В. Особенности травления наноразмерных пленок ITO в альтернативных травителях / Н. В. Богомазова, А. С. Козлович // Современные электрохимические технологии и оборудование - 2025 = Modern Electrochemical Technologies and Equipment - 2025 : материалы Международной научно-технической конференции, 19-23 мая 2025 г., г. Минск. - Минск : БГТУ, 2025. - С. 132-134.ru
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/73591-
dc.description.abstractЦелью данных исследований являлось изучение влияния состава раствора и температуры на скорость, а также однородность жидкофазного травления пленок ITO в травителях на основе щавелевой и винной кислот. При использовании малоопасных растворов на основе щавелевой и винной кислот для травления наноразмерных пленок ITO необходимо учитывать специфические зависимости скорости травления от состава и температуры травителя.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdfru
dc.language.isoruru
dc.publisherБГТУru
dc.subjectнаноразмерные пленки ITOru
dc.subjectтравление ITOru
dc.subjectпленки ITOru
dc.subjectкислотные травителиru
dc.subjectжидкофазное травление пленокru
dc.subjectтравление наноразмерных пленок ITOru
dc.titleОсобенности травления наноразмерных пленок ITO в альтернативных травителяхru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udc621.794.4:661.862.22-
Располагается в коллекциях:материалы конференции постатейно

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Богомазова_Особенности.pdf599.82 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.