Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/73591| Title: | Особенности травления наноразмерных пленок ITO в альтернативных травителях |
| Authors: | Богомазова, Наталья Валентиновна Козлович, А. С. |
| Keywords: | наноразмерные пленки ITO травление ITO пленки ITO кислотные травители жидкофазное травление пленок травление наноразмерных пленок ITO |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Богомазова, Н. В. Особенности травления наноразмерных пленок ITO в альтернативных травителях / Н. В. Богомазова, А. С. Козлович // Современные электрохимические технологии и оборудование - 2025 = Modern Electrochemical Technologies and Equipment - 2025 : материалы Международной научно-технической конференции, 19-23 мая 2025 г., г. Минск. - Минск : БГТУ, 2025. - С. 132-134. |
| Abstract: | Целью данных исследований являлось изучение влияния состава раствора и температуры на скорость, а также однородность жидкофазного травления пленок ITO в травителях на основе щавелевой и винной кислот. При использовании малоопасных растворов на основе щавелевой и винной кислот для травления наноразмерных пленок ITO необходимо учитывать специфические зависимости скорости травления от состава и температуры травителя. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/73591 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Богомазова_Особенности.pdf | 599.82 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.