Особенности формирования покрытий на поверхности кремния в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов

Abstract

Ионное ассистирование в процессе осаждения покрытия влияет на кристаллическую структуру, плотность упаковки, адгезию и поверхность получаемого покрытия, что может повысить качество тонкопленочных устройств. Осаждение металлических покрытий на кремний в условиях ионного ассистирования проводили с использованием вакуумного плазменно-дугового ионного источника. В результате выполненной работы с применением метода РОР/К установлено, в состав получаемых покрытий на кремнии входят атомы осаждаемого металла (Cr, Co, Mo, W), технологических примесей углерода и кислорода из вакуумной камеры, а также Si в результате встречной диффузии из подложки в покрытие.