Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/74266| Название: | Особенности формирования покрытий на поверхности кремния в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов |
| Авторы: | Бобрович, Олег Георгиевич Поплавский, Василий Владимирович |
| Ключевые слова: | ионное ассистирование кремний ионно-ассистируемое осаждение формирование покрытий на поверхность кремния модифицирование кремния |
| Дата публикации: | 2026 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Бобрович, О. Г. Особенности формирования покрытий на поверхности кремния в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов / О. Г. Бобрович, В. В. Поплавский // Информационные технологии. Физика и математика : материалы 90-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 2-20 февраля 2026 г. - Минск : БГТУ, 2026. – С. 216-219. |
| Краткий осмотр (реферат): | Ионное ассистирование в процессе осаждения покрытия влияет на кристаллическую структуру, плотность упаковки, адгезию и поверхность получаемого покрытия, что может повысить качество тонкопленочных устройств. Осаждение металлических покрытий на кремний в условиях ионного ассистирования проводили с использованием вакуумного плазменно-дугового ионного источника. В результате выполненной работы с применением метода РОР/К установлено, в состав получаемых покрытий на кремнии входят атомы осаждаемого металла (Cr, Co, Mo, W), технологических примесей углерода и кислорода из вакуумной камеры, а также Si в результате встречной диффузии из подложки в покрытие. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/74266 |
| Располагается в коллекциях: | материалы конференции постатейно |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Бобрович_Особенности.pdf | 419.47 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.