Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/74266| Title: | Особенности формирования покрытий на поверхности кремния в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов |
| Authors: | Бобрович, Олег Георгиевич Поплавский, Василий Владимирович |
| Keywords: | ионное ассистирование кремний ионно-ассистируемое осаждение формирование покрытий на поверхность кремния модифицирование кремния |
| Issue Date: | 2026 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Бобрович, О. Г. Особенности формирования покрытий на поверхности кремния в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов / О. Г. Бобрович, В. В. Поплавский // Информационные технологии. Физика и математика : материалы 90-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 2-20 февраля 2026 г. - Минск : БГТУ, 2026. – С. 216-219. |
| Abstract: | Ионное ассистирование в процессе осаждения покрытия влияет на кристаллическую структуру, плотность упаковки, адгезию и поверхность получаемого покрытия, что может повысить качество тонкопленочных устройств. Осаждение металлических покрытий на кремний в условиях ионного ассистирования проводили с использованием вакуумного плазменно-дугового ионного источника. В результате выполненной работы с применением метода РОР/К установлено, в состав получаемых покрытий на кремнии входят атомы осаждаемого металла (Cr, Co, Mo, W), технологических примесей углерода и кислорода из вакуумной камеры, а также Si в результате встречной диффузии из подложки в покрытие. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/74266 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Бобрович_Особенности.pdf | 419.47 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.