Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/9699
Title: Влияние параметров осаждения на толщину модифицированного слоя при динамическом атомном перемешивании Cu/Al-структур
Authors: Тульев, Валентин Валентинович
Ташлыков, Игорь Серафимович
Литвинов, Дмитрий Анатольевич
Keywords: медные покрытия
модификация поверхности
ионно-лучевое модифицирование
динамическое атомное перемешивание
Issue Date: 2013
Publisher: БГТУ
Citation: Тульев, В. В. Влияние параметров осаждения на толщину модифицированного слоя при динамическом атомном перемешивании Cu/Al-структур / В. В. Тульев, И. С. Ташлыков, Д. А. Литвинов // Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2013. - С. 66-68.
Abstract: Методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием определено, что при осаждении медного покрытия на алюминий методом динамического атомного перемешивания, в котором в качестве ассистирующих ионов использовались ионы Аr + с энергией 6 кэВ и интегральными потоками (0,7–1,6) ? 1016 ион/cм2 , формируется медная пленка толщиной ?10–15 нм. Установлено, что толщина сформированного покрытия зависит от параметра I / A (отношение числа I ассистирующих ионов к числу A атомов осаждаемого покрытия). При расчете толщины пленки необходимо учитывать помимо распыления ассистирующими ионами атомов покрытия, также распыление атомов подложки и атомов сопутствующих примесей.
URI: https://elib.belstu.by/handle/123456789/9699
Appears in Collections:Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2013

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
tulev.pdf330.47 kBAdobe PDFView/Open



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.