Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/9700
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Францкевич, Н. В. | ru |
dc.contributor.author | Францкевич, А. В. | ru |
dc.contributor.author | Федотов, А. К. | ru |
dc.contributor.author | Мазаник, А. В. | ru |
dc.date.accessioned | 2017-03-03T07:40:50Z | - |
dc.date.available | 2017-03-03T07:40:50Z | - |
dc.date.issued | 2013 | - |
dc.identifier.citation | Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии / Н. В. Францкевич [и др.] // Труды БГТУ. - Минск : БГТУ, 2013. - № 6 (162). - С. 76-79. | - |
dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/9700 | - |
dc.description.abstract | Проведены исследования методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) конусообразных структур, массив которых образуется на поверхности пластин кремния в результате обработки в плазме кислорода или водорода. Показано, что плотность распределения конических образований по поверхности уменьшается с увеличеним дозы предимплантированного гелия и температуры плазменной обработки. Минимальная (0,2 мкм) и максимальная (2 мкм) высота и диаметр получаемых структур от условий плазменной обработки и дозы предимплантированного гелия не зависят. Комбинационным рассеянием не выявлено изменений в кристаллической структуре кремния в дефектной области. | ru |
dc.format.mimetype | application/pdf | en |
dc.language.iso | ru | en |
dc.publisher | БГТУ | ru |
dc.subject | комбинационное рассеяние | ru |
dc.subject | сканирующая электронная микроскопия | ru |
dc.subject | конические структуры | ru |
dc.subject | пластины монокристаллического кремния | ru |
dc.title | Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии | ru |
dc.type | Article | en |
dc.identifier.udc | 621.315.592 | - |
Appears in Collections: | 2013, № 6 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
franckevich.pdf | 1.54 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.