Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://elib.belstu.by/handle/123456789/9700
Название: Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии
Авторы: Францкевич, Н. В.
Францкевич, А. В.
Федотов, А. К.
Мазаник, А. В.
Ключевые слова: комбинационное рассеяние
сканирующая электронная микроскопия
конические структуры
пластины монокристаллического кремния
Дата публикации: 2013
Издательство: БГТУ
Библиографическое описание: Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии / Н. В. Францкевич [и др.] // Труды БГТУ. - Минск : БГТУ, 2013. - № 6 (162). - С. 76-79.
Краткий осмотр (реферат): Проведены исследования методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) конусообразных структур, массив которых образуется на поверхности пластин кремния в результате обработки в плазме кислорода или водорода. Показано, что плотность распределения конических образований по поверхности уменьшается с увеличеним дозы предимплантированного гелия и температуры плазменной обработки. Минимальная (0,2 мкм) и максимальная (2 мкм) высота и диаметр получаемых структур от условий плазменной обработки и дозы предимплантированного гелия не зависят. Комбинационным рассеянием не выявлено изменений в кристаллической структуре кремния в дефектной области.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): https://elib.belstu.by/handle/123456789/9700
Располагается в коллекциях:2013, № 6

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
franckevich.pdf1.54 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.