Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/9700
Название: | Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии |
Авторы: | Францкевич, Н. В. Францкевич, А. В. Федотов, А. К. Мазаник, А. В. |
Ключевые слова: | комбинационное рассеяние сканирующая электронная микроскопия конические структуры пластины монокристаллического кремния |
Дата публикации: | 2013 |
Издательство: | БГТУ |
Библиографическое описание: | Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии / Н. В. Францкевич [и др.] // Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2013. - С. 76-79. |
Краткий осмотр (реферат): | Проведены исследования методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) конусообразных структур, массив которых образуется на поверхности пластин кремния в результате обработки в плазме кислорода или водорода. Показано, что плотность распределения конических образований по поверхности уменьшается с увеличеним дозы предимплантированного гелия и температуры плазменной обработки. Минимальная (0,2 мкм) и максимальная (2 мкм) высота и диаметр получаемых структур от условий плазменной обработки и дозы предимплантированного гелия не зависят. Комбинационным рассеянием не выявлено изменений в кристаллической структуре кремния в дефектной области. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/9700 |
Располагается в коллекциях: | Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2013 |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
franckevich.pdf | 1.54 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.