Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии

Abstract

Проведены исследования методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) конусообразных структур, массив которых образуется на поверхности пластин кремния в результате обработки в плазме кислорода или водорода. Показано, что плотность распределения конических образований по поверхности уменьшается с увеличеним дозы предимплантированного гелия и температуры плазменной обработки. Минимальная (0,2 мкм) и максимальная (2 мкм) высота и диаметр получаемых структур от условий плазменной обработки и дозы предимплантированного гелия не зависят. Комбинационным рассеянием не выявлено изменений в кристаллической структуре кремния в дефектной области.