Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/9700
Title: Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии
Authors: Францкевич, Н. В.
Францкевич, А. В.
Федотов, А. К.
Мазаник, А. В.
Keywords: комбинационное рассеяние
сканирующая электронная микроскопия
конические структуры
пластины монокристаллического кремния
Issue Date: 2013
Publisher: БГТУ
Citation: Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии / Н. В. Францкевич [и др.] // Труды БГТУ. - Минск : БГТУ, 2013. - № 6 (162). - С. 76-79.
Description: Проведены исследования методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) конусообразных структур, массив которых образуется на поверхности пластин кремния в результате обработки в плазме кислорода или водорода. Показано, что плотность распределения конических образований по поверхности уменьшается с увеличеним дозы предимплантированного гелия и температуры плазменной обработки. Минимальная (0,2 мкм) и максимальная (2 мкм) высота и диаметр получаемых структур от условий плазменной обработки и дозы предимплантированного гелия не зависят. Комбинационным рассеянием не выявлено изменений в кристаллической структуре кремния в дефектной области.
URI: https://elib.belstu.by/handle/123456789/9700
Appears in Collections:2013, № 6

Files in This Item:
File SizeFormat 
franckevich.pdf1.54 MBAdobe PDFView/Open



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.