Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/9700
Title: | Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии |
Authors: | Францкевич, Н. В. Францкевич, А. В. Федотов, А. К. Мазаник, А. В. |
Keywords: | комбинационное рассеяние сканирующая электронная микроскопия конические структуры пластины монокристаллического кремния |
Issue Date: | 2013 |
Publisher: | БГТУ |
Citation: | Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии / Н. В. Францкевич [и др.] // Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2013. - С. 76-79. |
Abstract: | Проведены исследования методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) конусообразных структур, массив которых образуется на поверхности пластин кремния в результате обработки в плазме кислорода или водорода. Показано, что плотность распределения конических образований по поверхности уменьшается с увеличеним дозы предимплантированного гелия и температуры плазменной обработки. Минимальная (0,2 мкм) и максимальная (2 мкм) высота и диаметр получаемых структур от условий плазменной обработки и дозы предимплантированного гелия не зависят. Комбинационным рассеянием не выявлено изменений в кристаллической структуре кремния в дефектной области. |
URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/9700 |
Appears in Collections: | Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2013 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
franckevich.pdf | 1.54 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.