Browsing by Subject монокристаллический кремний
Showing results 1 to 3 of 3
Issue Date | Title | Author(s) |
2023 | Влияние режимов травления на морфологию поверхности многослойного пористого кремния | Леньшин, А. С.; Пешков, Я. А.; Черноусова, О. В.; Канныкин, С. В.; Гречкина, М. В.; Агапов, Б. Л. |
2021 | Влияние электрохимической обработки на эксплуатационные характеристики монокристаллического кремния | Вакарин, С. В.; Семеникова, О. Л.; Косов, А. В.; Панкратов, А. А.; Трофимов, А. А.; Леонова, А. М.; Леонова, Н. М.; Солодянкина, Д. М.; Зайков, Ю. П. |
2021 | Усовершенствование процесса травления кремния в технологии производства пластин монокристаллического кремния | Локун, Р. А.; Мурашкевич, Анна Николаевна |