Browsing by Subject магнетронное напыление
Showing results 1 to 5 of 5
Issue Date | Title | Author(s) |
2001 | Закономерности формирования тонких пленок In2О3 методом термического окисления индия | Лугин, Валерий Геннадьевич; Жарский, Иван Михайлович |
2022 | Получение мембран для водородной энергетики на основе сплавов палладия с серебром | Болотин, С. Н.; Пушанкина, П. Д.; Андреев, Г. А.; Петриев, И. С. |
2019 | Разработка методов образования высокопористых оксидных слоев алюминия для последующего формирования мультиоксидных хеморезистивных слоев для микро- и наноэлектроники | Романовская, Анастасия Викторовна; Филипович, Т. Н.; Жилинский, Валерий Викторович; Черник, Александр Александрович |
2002 | Тонкопленочные сенсорные структуры термоэлектрического типа на основе оксидов индия и олова и их физико-химические свойства | Лугин, Валерий Геннадьевич |
2019 | Формирование и исследование характеристик тонких пленок оксидов меди и цинка и гетероструктур на их основе | Тарасенко, Н. В.; Пашаян, С. Т.; Буцень, Андрей Викторович; Шустова, Е. А.; Тарасенко, Н. Н.; Анищик, В. М.; Малютина-Бронская, В. В. |