Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/28720| Title: | Разработка методов образования высокопористых оксидных слоев алюминия для последующего формирования мультиоксидных хеморезистивных слоев для микро- и наноэлектроники |
| Authors: | Романовская, Анастасия Викторовна Филипович, Т. Н. Жилинский, Валерий Викторович Черник, Александр Александрович |
| Keywords: | анодирование алюминий высокопористые оксидные слои оксидные пленки магнетронное напыление газочувствительные слои мультисенсорные устройства формирование газочувствительных слоев |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Разработка методов образования высокопористых оксидных слоев алюминия для последующего формирования мультиоксидных хеморезистивных слоев для микро- и наноэлектроники / А. В. Романовская [и др.] // Инновационные материалы и технологии : материалы докладов Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 9-11 января 2019 г. – Минск : БГТУ, 2019. - С. 77-80. |
| Abstract: | Целью данной работы является разработка химической и электрохимической технологий формирования газочувствительных слоев для мультисенсорных устройств. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/28720 |
| Appears in Collections: | Материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Romanovskaya_Razrabotka metodov.pdf | 91.36 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.