Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/28720| Название: | Разработка методов образования высокопористых оксидных слоев алюминия для последующего формирования мультиоксидных хеморезистивных слоев для микро- и наноэлектроники |
| Авторы: | Романовская, Анастасия Викторовна Филипович, Т. Н. Жилинский, Валерий Викторович Черник, Александр Александрович |
| Ключевые слова: | анодирование алюминий высокопористые оксидные слои оксидные пленки магнетронное напыление газочувствительные слои мультисенсорные устройства формирование газочувствительных слоев |
| Дата публикации: | 2019 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Разработка методов образования высокопористых оксидных слоев алюминия для последующего формирования мультиоксидных хеморезистивных слоев для микро- и наноэлектроники / А. В. Романовская [и др.] // Инновационные материалы и технологии : материалы докладов Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 9-11 января 2019 г. – Минск : БГТУ, 2019. - С. 77-80. |
| Краткий осмотр (реферат): | Целью данной работы является разработка химической и электрохимической технологий формирования газочувствительных слоев для мультисенсорных устройств. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/28720 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференции постатейно |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Romanovskaya_Razrabotka metodov.pdf | 91.36 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.