1. Электронная библиотека БГТУ
  2. Материалы конференций и семинаров
  3. Международные конференции
  4. Инновационные материалы и технологии
  5. Инновационные материалы и технологии - 2019
  6. Материалы конференции постатейно
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/28720
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorРомановская, Анастасия Викторовнаru
dc.contributor.authorФилипович, Т. Н.ru
dc.contributor.authorЖилинский, Валерий Викторовичru
dc.contributor.authorЧерник, Александр Александровичru
dc.date.accessioned2019-04-05T09:19:25Z-
dc.date.available2019-04-05T09:19:25Z-
dc.date.issued2019-
dc.identifier.citationРазработка методов образования высокопористых оксидных слоев алюминия для последующего формирования мультиоксидных хеморезистивных слоев для микро- и наноэлектроники / А. В. Романовская [и др.] // Инновационные материалы и технологии : материалы докладов Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 9-11 января 2019 г. – Минск : БГТУ, 2019. - С. 77-80.-
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/28720-
dc.description.abstractЦелью данной работы является разработка химической и электрохимической технологий формирования газочувствительных слоев для мультисенсорных устройств.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.language.isoruen
dc.publisherБГТУru
dc.subjectанодированиеru
dc.subjectалюминийru
dc.subjectвысокопористые оксидные слоиru
dc.subjectоксидные пленкиru
dc.subjectмагнетронное напылениеru
dc.subjectгазочувствительные слоиru
dc.subjectмультисенсорные устройстваru
dc.subjectформирование газочувствительных слоевru
dc.titleРазработка методов образования высокопористых оксидных слоев алюминия для последующего формирования мультиоксидных хеморезистивных слоев для микро- и наноэлектроникиru
dc.typeArticleen
dc.identifier.udc621.357, 620.187-
Appears in Collections:Материалы конференции постатейно

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Romanovskaya_Razrabotka metodov.pdf91.36 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.