Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/28720
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Романовская, Анастасия Викторовна | ru |
dc.contributor.author | Филипович, Т. Н. | ru |
dc.contributor.author | Жилинский, Валерий Викторович | ru |
dc.contributor.author | Черник, Александр Александрович | ru |
dc.date.accessioned | 2019-04-05T09:19:25Z | - |
dc.date.available | 2019-04-05T09:19:25Z | - |
dc.date.issued | 2019 | - |
dc.identifier.citation | Разработка методов образования высокопористых оксидных слоев алюминия для последующего формирования мультиоксидных хеморезистивных слоев для микро- и наноэлектроники / А. В. Романовская [и др.] // Инновационные материалы и технологии : материалы докладов Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 9-11 января 2019 г. – Минск : БГТУ, 2019. - С. 77-80. | - |
dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/28720 | - |
dc.description.abstract | Целью данной работы является разработка химической и электрохимической технологий формирования газочувствительных слоев для мультисенсорных устройств. | ru |
dc.format.mimetype | application/pdf | en |
dc.language.iso | ru | en |
dc.publisher | БГТУ | ru |
dc.subject | анодирование | ru |
dc.subject | алюминий | ru |
dc.subject | высокопористые оксидные слои | ru |
dc.subject | оксидные пленки | ru |
dc.subject | магнетронное напыление | ru |
dc.subject | газочувствительные слои | ru |
dc.subject | мультисенсорные устройства | ru |
dc.subject | формирование газочувствительных слоев | ru |
dc.title | Разработка методов образования высокопористых оксидных слоев алюминия для последующего формирования мультиоксидных хеморезистивных слоев для микро- и наноэлектроники | ru |
dc.type | Article | en |
dc.identifier.udc | 621.357, 620.187 | - |
Appears in Collections: | Материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Romanovskaya_Razrabotka metodov.pdf | 91.36 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.