Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/10220| Title: | Изучение влияния флюенса имплантированных ионов железа и никеля на электрофизические свойства фоторезиста в СВЧ диапазоне |
| Authors: | Волобуев, Влас Сергеевич Олешкевич, А. А. |
| Keywords: | ионная имплантация СВЧ резанаторы фоторезистивные нанокомпозиты ионы никеля ионы железа анизотропия проводимость |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Волобуев, В. С. Изучение влияния флюенса имплантированных ионов железа и никеля на электрофизические свойства фоторезиста в СВЧ диапазоне / В. С. Волобуев, А. Н. Олешкевич // Технология органических веществ : тезисы докладов 78-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 3-13 февраля 2014 г. / Белорусский государственный технологический университет. - Минск : БГТУ, 2014. - С. 48. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/10220 |
| Appears in Collections: | Технология органических веществ |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Volobuev_48.pdf | 99.53 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.